Wissenschaftsblog für Mikroelektronik des Fraunhofer IZM

Tag - Sensorik

Mechanische Mikrosensoren gewinnen insbesondere aufgrund ihres geringen Formfaktors, des geringen Gewichtes und geringer Herstellungskosten in Anwendungsgebieten wie Automotive, Entertainment und Industrie zunehmend an Bedeutung.

Fraunhofer IZM bietet eine komplette Sensorentwicklung – vom Lastenheft, Konzept und Herstellung von Sensorelementen bis hin zum Packaging und Test. Für die Realisierung der mechanischen Mikrosensoren werden verschiedene physikalische Halbleitereffekte genutzt, um eine genügend hohe Empfindlichkeit und eine zufriedenstellende Linearität zu erzielen.